作為局部且非破壞地評估矽所承受的應力（應變），常用的光譜法是下列何者？

正確答案：A. 拉曼光譜法

拉曼光譜法是量測照射雷射光時，因與晶格振動交互作用而使波長略微偏移的散射光（拉曼散射）。無應力的矽峰位約在520 cm⁻¹，壓縮應力時向高側偏移，拉伸應力時向低側偏移，大約每500 MPa偏移1 cm⁻¹。由於雷射可聚焦到1 µm左右，能局部且非破壞地評估通道的應變與封裝的應力。

• A. 正確。由拉曼位移評估應力。
• B. 四探針法是量測電阻率的方法。
• C. C-V量測是量測MOS結構電容的方法。