주기적인 패턴에 빛을 쏘아 반사·회절광의 스펙트럼을 모델과 비교하여 선폭이나 단면 형상을 구하는 계측을 무엇이라고 하는가?

정답: B. 스캐터로메트리(광학식 CD 계측, OCD)

스캐터로메트리는 테스트용 주기 패턴에서 오는 반사·회절광의 스펙트럼을 측정하고, 형상을 모델화하여 전자기장 계산으로 구한 스펙트럼과 대조함으로써 선폭, 높이, 측벽 각도 등을 구합니다. 비파괴이고 빠르며 단면 형상 정보까지 얻을 수 있어, 양산 라인의 치수 관리에 널리 사용됩니다. 다만 올바른 모델을 준비하지 않으면 잘못된 결과가 나옵니다. SIMS나 TEM은 파괴적인 분석입니다.