リソグラフィ

EUV露光装置の光源で、13.5 nmの光をつくる方法として正しいものはどれか。

  1. A水銀ランプの放電
  2. BArFエキシマレーザーの光を波長変換する
  3. Cスズの微小な液滴に強力なレーザーを当ててプラズマにする
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正解：C. スズの微小な液滴に強力なレーザーを当ててプラズマにする

EUV光源では、毎秒数万個のスズの微小な液滴に高出力の炭酸ガスレーザーを当てて高温のプラズマにし、そこから出る13.5 nmの光を多層膜ミラーで集めます(LPP方式)。十分な明るさを安定に得ることが、EUVの実用化の大きな課題でした。

  • A. 水銀ランプはi線などの光源です。
  • B. ArFの光を変換して13.5 nmをつくる方式ではありません。
  • C. 正しい。スズの液滴をレーザーでプラズマにします。
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