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EUV 노광 장비의 광원에서 13.5 nm 빛을 만드는 방법으로 올바른 것은?
- A수은 램프의 방전
- BArF 엑시머 레이저의 빛을 파장 변환한다
- C주석의 미세한 액적에 강력한 레이저를 쏘아 플라스마로 만든다
정답과 해설 보기
정답: C. 주석의 미세한 액적에 강력한 레이저를 쏘아 플라스마로 만든다
EUV 광원에서는 초당 5만 개 정도의 지름 약 30 µm 주석 액적에 먼저 약한 레이저를 쏘아 납작하게 펼치고, 이어서 고출력 이산화탄소 레이저를 쏘아 수십만 ℃의 플라스마로 만든 뒤, 거기서 나오는 13.5 nm 빛을 다층막 거울로 모읍니다(LPP 방식). 출력 250 W 이상을 안정적으로 얻을 수 있게 된 것이 양산화의 결정적 요인이었습니다. 흩어진 주석으로 집광 거울이 오염되는 것은 수소 가스로 막습니다.
- A. 수은 램프는 i선 등의 광원입니다.
- B. ArF 빛을 변환하여 13.5 nm를 만드는 방식이 아닙니다.
- C. 올바릅니다. 주석 액적을 레이저로 플라스마로 만듭니다.