포토리소그래피
리소그래피에서 관리하는 「CDU」의 의미로 올바른 것은?
- A노광 장비의 전원 전압
- B패턴 치수(CD)의 웨이퍼 면내 또는 샷 내에서의 편차
- C레지스트 색의 균일성
정답과 해설 보기
정답: B. 패턴 치수(CD)의 웨이퍼 면내 또는 샷 내에서의 편차
CD(Critical Dimension)는 선폭 등의 중요한 치수, CDU(CD Uniformity)는 그 편차의 크기(3σ)를 나타냅니다. 첨단 제품에서는 수십 nm의 선폭에 대해 1 nm 정도의 편차로 억제해야 합니다. CD의 편차는 트랜지스터 특성의 편차에 직결되므로, 노광량을 샷 내에서 보정하거나 PEB의 온도 분포를 고르게 하여 작게 억제합니다. 측정에는 CD-SEM이나 스캐터로메트리가 사용됩니다.
- A. 전원 전압이 아닙니다.
- B. 올바릅니다. 치수의 편차입니다.
- C. 색의 균일성이 아닙니다.