포토리소그래피

블록 공중합체가 저절로 규칙적인 미세 패턴을 만드는 성질을 이용한 패턴 형성 기술은?

  1. AOPC
  2. B유도 자기 조립(DSA)
  3. C원자층 식각
정답과 해설 보기

정답: B. 유도 자기 조립(DSA)

블록 공중합체는 성질이 다른 두 종류의 고분자(예: 폴리스타이렌과 PMMA)가 연결된 재료로, 서로 분리되려는 성질 때문에 분자 길이로 정해지는 수 nm~수십 nm의 규칙적인 줄무늬나 점 무늬를 저절로 만듭니다. DSA는 리소그래피로 만든 가이드 패턴으로 늘어서는 위치와 방향을 제어하여 해상 한계보다 미세한 패턴을 만드는 기술입니다. 저렴하게 미세화할 수 있는 가능성이 있는 반면, 결함이 적어야 한다는 점이 양산의 과제입니다.

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