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EUV 노광용으로 개발이 진행되는 금속 산화물을 포함한 레지스트의 장점으로 올바른 것은?
- AEUV 빛의 흡수가 커서 얇은 막으로도 식각 내성이 높다
- B노광이 필요 없다
- C빛을 전혀 흡수하지 않는다
정답과 해설 보기
정답: A. EUV 빛의 흡수가 커서 얇은 막으로도 식각 내성이 높다
주석이나 하프늄 등의 금속을 포함한 레지스트는 유기물 레지스트보다 EUV 빛을 몇 배 더 흡수하므로 적은 노광량으로 반응시킬 수 있고, 광자 수 요동(스토캐스틱스)의 영향도 줄일 수 있을 것으로 기대됩니다. 분자가 작아 해상성도 좋고 식각 내성이 높아서 두께 20 nm 전후의 얇은 막으로도 마스크로 쓸 수 있으며, 미세한 패턴의 쓰러짐도 막기 쉬워집니다. 진공 중에서 성막하는 드라이 레지스트도 개발되고 있습니다.