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LELE(리소·식각·리소·식각) 방식의 더블 패터닝에서 특히 엄격하게 요구되는 것은?

  1. A레지스트의 색
  2. B노광 장비의 대수
  3. C1회째와 2회째 패턴의 중첩 정밀도
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정답: C. 1회째와 2회째 패턴의 중첩 정밀도

LELE에서는 미세한 패턴을 둘로 나누어 따로 노광·식각하기 때문에, 2회째 패턴이 1회째에 대해 어긋나면 이웃한 선의 간격이 그 어긋남만큼 변하게 되어 배선의 용량이나 단락에 직결됩니다. 예를 들어 간격 20 nm에서 2 nm가 어긋나면 10% 변화입니다. 그래서 매우 높은 중첩 정밀도가 필요합니다. 스페이서를 사용하는 SADP는 선의 위치가 자기 정렬적으로 정해지므로 이 문제가 작아집니다.

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