포토마스크 위에 일정한 간격을 두고 씌우는 얇은 막(펠리클)의 역할은?

정답: C. 이물질이 마스크 면에 직접 부착되는 것을 막고, 펠리클 위에 붙더라도 초점이 맞지 않아 전사되기 어렵게 한다

마스크에 이물질이 붙으면 그 마스크로 노광하는 모든 웨이퍼의 모든 샷에 결함이 전사됩니다. 펠리클은 마스크에서 약 6 mm 떨어뜨려 프레임에 씌운 두께 1 µm 이하의 투명한 막으로, 이물질은 펠리클 위에 붙기 때문에 초점이 맞지 않고 흐려져 웨이퍼에 전사되기 어려워집니다. EUV용으로는 EUV 빛을 약 90% 투과시키고 고온에 견디는 수십 nm의 극박막(폴리실리콘이나 탄소 나노튜브 등)이 개발되었습니다.