EUV露光で使われるマスクの特徴として正しいものはどれか。

正解：A. 光を反射させる多層膜ミラーの上に、吸収体のパターンをつくった反射型マスク

EUV光はほとんどの物質に吸収されるため、透過型のマスクは使えません。EUVマスクは、モリブデンとシリコンを交互に積み重ねた多層膜ミラーの上に、光を吸収する材料でパターンをつくった反射型です。