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EUV 노광에서 사용하는 마스크의 특징으로 올바른 것은?
- A빛을 반사시키는 다층막 거울 위에 흡수체 패턴을 만든 반사형 마스크
- B유리를 빛이 투과하는 투과형 마스크
- C마스크는 사용하지 않는다
정답과 해설 보기
정답: A. 빛을 반사시키는 다층막 거울 위에 흡수체 패턴을 만든 반사형 마스크
EUV 빛은 대부분의 물질에 흡수되므로 투과형 마스크는 사용할 수 없습니다. EUV 마스크는 저열팽창 유리 기판 위에 몰리브덴과 실리콘을 약 7 nm 주기로 40쌍 정도 쌓은 다층막 거울(반사율 약 65%)을 만들고, 그 위에 탄탈럼계 등의 흡수체로 패턴을 만든 반사형입니다. 빛은 약 6° 기울여 입사시키고 반사광을 투영 광학계로 보냅니다. 다층막의 결함을 줄이는 것이 제조의 큰 과제입니다.