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스캐너형 노광 장비의 특징으로 올바른 것은?
- A웨이퍼 전면을 1회에 일괄 노광한다
- B마스크를 쓰지 않고 직접 묘화한다
- C슬릿 모양의 빛에 대해 마스크와 웨이퍼를 동기시켜 움직이면서 노광한다
정답과 해설 보기
정답: C. 슬릿 모양의 빛에 대해 마스크와 웨이퍼를 동기시켜 움직이면서 노광한다
스캐너는 폭 수 mm의 슬릿 모양 영역에만 빛을 비추고, 마스크와 웨이퍼를 4:1의 속도비로 반대 방향으로 동기시켜 주사하면서 1샷(26×33 mm)을 노광합니다. 렌즈 수차가 적은 중앙부만 사용할 수 있고, 주사 방향으로 긴 영역을 노광할 수 있으며, 샷 내의 편차도 평균화됩니다. 스테이지는 수 m/s²의 가속도로 움직이면서도 nm 단위의 정밀도를 유지합니다. 정지한 채 일괄 노광하는 것은 스테퍼입니다.