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화학 증폭형 레지스트의 특징으로 올바른 것은?
- A노광하지 않아도 현상에서 녹는다
- B빛이 아니라 열만으로 반응한다
- C노광으로 발생한 산이 노광 후 베이크(PEB)에서 촉매로 작용하여 적은 노광량으로 반응을 진행시킨다
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정답: C. 노광으로 발생한 산이 노광 후 베이크(PEB)에서 촉매로 작용하여 적은 노광량으로 반응을 진행시킨다
화학 증폭형 레지스트에서는 노광으로 광산 발생제에서 산이 생기고, 노광 후 가열(PEB, 90~130 ℃ 정도) 동안 그 산이 촉매로서 수지의 보호기를 떼어 내는 반응을 수십~수백 번 반복합니다. 광자 하나로 많은 반응이 진행되므로 감도가 매우 높으며, 광원이 약한 KrF·ArF나 EUV에 필요했습니다. 1980년대에 IBM에서 개발되었습니다. 한편 산이 너무 확산되면 상이 흐려지므로 PEB의 온도와 시간은 엄격하게 관리됩니다.