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해상도 식 R = k1 × λ / NA에 따라 해상도를 향상시키는(R을 작게 하는) 방법으로 올바른 것은?
- A노광 파장을 짧게 하고 개구수(NA)를 크게 한다
- B노광 파장을 길게 하고 NA를 작게 한다
- C노광 파장을 길게 하고 NA를 크게 한다
정답과 해설 보기
정답: A. 노광 파장을 짧게 하고 개구수(NA)를 크게 한다
레일리 식 R = k1·λ/NA에 따라 R을 작게 하려면 파장 λ를 짧게, 개구수 NA를 크게, k1을 낮추어야 합니다. 광원은 g선(436 nm), i선(365 nm), KrF(248 nm), ArF(193 nm), EUV(13.5 nm)로 단파장화되었고, NA도 0.3 정도에서 액침의 1.35까지 확대되었습니다. 예를 들어 ArF 액침(NA 1.35, k1 0.27)에서는 R ≈ 39 nm이며, 이보다 미세한 피치는 멀티 패터닝이나 EUV가 필요합니다.