離子佈植

在源極、汲極端斜向佈植與通道相同導電型雜質的暈環(halo,亦稱口袋)佈植,其主要目的為下列何者?

  1. A降低閘極電極的電阻
  2. B抑制短通道效應
  3. C使電晶體發光
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正確答案:B. 抑制短通道效應

暈環佈植是將晶圓傾斜約20~45°,使其潛入閘極下方,在源極、汲極端附近局部導入與通道相同導電型的雜質。由於可抑制從汲極延伸的空乏區,即使閘極長度縮短,也能抑制臨界電壓下降與貫穿。與將整個通道摻雜變濃相比,遷移率的降低較小,在平面型微細電晶體中曾是標準做法。

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