離子佈植 在源極、汲極端斜向佈植與通道相同導電型雜質的暈環(halo,亦稱口袋)佈植,其主要目的為下列何者? A降低閘極電極的電阻 B抑制短通道效應 C使電晶體發光 查看答案與解析 正確答案:B. 抑制短通道效應 暈環佈植是將晶圓傾斜約20~45°,使其潛入閘極下方,在源極、汲極端附近局部導入與通道相同導電型的雜質。由於可抑制從汲極延伸的空乏區,即使閘極長度縮短,也能抑制臨界電壓下降與貫穿。與將整個通道摻雜變濃相比,遷移率的降低較小,在平面型微細電晶體中曾是標準做法。