イオン注入 熱拡散と比べたときのイオン注入の主な利点はどれか。 A低温で処理でき、ドーズ量と深さを精度よく制御できる B高温で長時間の処理ができる C結晶に損傷をまったく与えない 答えと解説を見る 正解：A. 低温で処理でき、ドーズ量と深さを精度よく制御できる イオン注入は室温付近で行えるため、フォトレジストをマスクとして使え、注入量は電流の測定で精密に管理できます。深さもエネルギーで制御できます。一方、結晶に損傷を与えるため、注入後のアニールが必要です。