イオン注入
イオン注入中のウエハの帯電(チャージアップ)を抑えるために用いられるものはどれか。
- Aウエハを高温に加熱する
- Bビーム電流を最大にする
- C電子を供給して電荷を中和する装置(プラズマフラッドガンなど)
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正解：C. 電子を供給して電荷を中和する装置(プラズマフラッドガンなど)
正のイオンを注入し続けると、ウエハ上の絶縁された部分が帯電し、ゲート酸化膜が破壊されるおそれがあります。そこで、低エネルギーの電子をウエハ付近に供給して正電荷を中和するプラズマフラッドガンやエレクトロンシャワーが使われます。