이온 주입
열확산과 비교했을 때 이온 주입의 주된 이점은 무엇인가?
- A저온에서 처리할 수 있고, 도즈량과 깊이를 정밀하게 제어할 수 있다
- B고온에서 장시간 처리할 수 있다
- C결정에 손상을 전혀 주지 않는다
정답과 해설 보기
정답: A. 저온에서 처리할 수 있고, 도즈량과 깊이를 정밀하게 제어할 수 있다
이온 주입은 상온 부근에서 할 수 있으므로 포토레지스트를 마스크로 사용할 수 있고, 주입량은 빔 전류의 적산으로 ±1 % 정도의 정밀도로 관리할 수 있습니다. 깊이도 에너지로 독립적으로 제어할 수 있으며, 10¹¹~10¹⁶ cm⁻²라는 넓은 범위의 도즈를 다룰 수 있습니다. 열확산에서는 표면 농도와 깊이가 연동되고, 고온이기 때문에 산화막 마스크가 필요했습니다. 한편 이온 주입은 결정에 손상을 주기 때문에 주입 후 어닐링이 필요합니다.