イオン注入装置で、磁場を使って目的のイオン種だけを選び出す部分はどれか。

正解：C. 質量分析部

イオン源では目的以外のイオンも発生するため、質量分析部で磁場によってイオンの軌道を曲げ、質量と電荷の比に応じて目的のイオンだけを選び出します。選ばれたイオンは加速されて、エンドステーションに置かれたウエハに注入されます。