첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)
「High-k 게이트 절연막」의 k가 나타내는 것은?
- A결정의 경도
- B열전도율
- C비유전율(유전율의 크기)
정답과 해설 보기
정답: C. 비유전율(유전율의 크기)
High-k의 k는 비유전율이며, SiO2(약 3.9)보다 큰 절연 재료를 High-k 재료라고 합니다. 대표적인 것은 HfO2(약 20~25)나 HfSiON으로, 물리적으로 두꺼운 막에서도 큰 게이트 용량을 얻을 수 있습니다. 다만 유전율이 큰 재료일수록 밴드갭이 작아지는 경향이 있어 누설과의 균형을 고려하여 선택합니다. 반대로 배선 사이에는 용량을 줄이기 위해 비유전율이 작은 Low-k 재료가 사용됩니다.
- A. 경도를 나타내는 기호가 아닙니다.
- B. 열전도율을 나타내는 기호가 아닙니다.
- C. 맞습니다. k는 비유전율을 나타냅니다.