エッチング 酸化膜をエッチングして、下にある窒化膜のところで止めたい場合に必要なものはどれか。 A低い選択比 B等方性のエッチング C窒化膜に対する酸化膜の高いエッチング選択比 答えと解説を見る 正解：C. 窒化膜に対する酸化膜の高いエッチング選択比 窒化膜で止めたい場合は、酸化膜は速くエッチングし、窒化膜はほとんどエッチングしない条件が必要です。フルオロカーボン系ガスで炭素の多い条件を使うなどして、窒化膜に対する酸化膜の選択比を高めます。自己整合コンタクトの形成などで重要になります。