ドライエッチングのあとに、パターンの側壁などに残った反応生成物(ポリマー)を除去する理由として正しいものはどれか。

正解：A. 次の工程での不良や、電気的な特性の劣化を防ぐため

エッチングの際に側壁に付いた保護膜などのポリマーが残っていると、次の成膜の密着性が悪くなったり、コンタクトの抵抗が上がったり、腐食の原因になったりします。そのため、アッシングや薬液による洗浄で丁寧に除去します。