ゲートのエッチングで、下地の絶縁膜との境界付近のパターン側面が横にえぐれる現象を何と呼ぶか。

正解：B. ノッチング

ノッチングは、エッチングが下地の絶縁膜に達したあと、絶縁膜の表面に電荷がたまり、イオンの軌道が曲げられてパターンの根元が横にえぐれる現象です。ゲート長が局所的に変わってしまうため、パルスプラズマなどで帯電を抑えて対策します。