エッチング

半導体製造におけるエッチングの役割として正しいものはどれか。

  1. Aレジストなどのマスクで覆われていない部分の膜を削り取り、パターンを形成する
  2. B不純物を拡散させる
  3. Cウエハに膜をつける
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正解：A. レジストなどのマスクで覆われていない部分の膜を削り取り、パターンを形成する

エッチングは、リソグラフィでつくったレジストのパターンなどをマスクにして、覆われていない部分の膜や基板を化学反応やイオンの衝撃で取り除き、回路のパターンを形づくる工程です。

  • A. 正しい。マスクのない部分を削ってパターンをつくります。
  • B. 不純物を拡散させるのは熱処理の工程です。
  • C. 膜をつけるのは成膜の工程です。
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