エッチング

ドライエッチングで使われる「プラズマ」の説明として正しいものはどれか。

  1. A非常に冷たい液体
  2. B電離して電子やイオン、ラジカルなどが混ざった気体の状態
  3. C金属の固体
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正解：B. 電離して電子やイオン、ラジカルなどが混ざった気体の状態

プラズマは、気体に電力を加えて電子を加速し、原子や分子を電離させた状態で、電子・イオン・反応性の高いラジカル・中性の分子が混ざっています。ドライエッチングでは、イオンとラジカルを使って膜を削ります。

  • A. プラズマは液体ではありません。
  • B. 正しい。電離した気体の状態です。
  • C. プラズマは固体ではありません。
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