エッチング シリコン窒化膜のウェットエッチングに一般的に使われる薬液はどれか。 A純水 B熱リン酸 Cアンモニア水 答えと解説を見る 正解：B. 熱リン酸 シリコン窒化膜は、150 ℃程度に加熱したリン酸で、酸化膜に対して高い選択比でエッチングできます。LOCOSやSTIの形成後に、マスクとして使った窒化膜を除去する工程などで使われます。酸化膜のエッチングにはフッ酸系の薬液を使います。