ドライエッチングで異方性が得られる仕組みの一つとして正しいものはどれか。

正解：A. 側壁に堆積した保護膜が横方向のエッチングを防ぎ、底面ではイオンの衝撃で保護膜が除去されてエッチングが進む

ドライエッチングでは、反応生成物やガスに由来する膜が側壁に付着して横方向のエッチングを防ぎます。一方、底面には垂直にイオンが当たるため保護膜が取り除かれ、エッチングが進みます。この仕組みにより、垂直な形状が得られます。