エッチング

誘導結合プラズマ(ICP)型エッチング装置の特徴として正しいものはどれか。

  1. Aプラズマを使わない
  2. Bコイルで高密度プラズマを生成し、プラズマ密度とイオンエネルギーを別々に制御しやすい
  3. C液体の薬液を使う
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正解：B. コイルで高密度プラズマを生成し、プラズマ密度とイオンエネルギーを別々に制御しやすい

ICP型では、コイルに高周波を流してつくる誘導電界で高密度のプラズマを生成し、ウエハ側には別の高周波電源でバイアスを加えます。プラズマの密度と、ウエハに当たるイオンのエネルギーを独立に調整しやすく、低い圧力で高速かつ異方性の高いエッチングができます。

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