エッチング

水酸化カリウム(KOH)水溶液によるシリコンのウェットエッチングの特徴として正しいものはどれか。

  1. A結晶面によってエッチング速度が大きく異なり、(111)面が非常に遅いため、斜面をもつV字形の溝などができる
  2. Bすべての結晶面で同じ速さで進む等方性エッチングである
  3. C酸化膜を高速に溶かす
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正解：A. 結晶面によってエッチング速度が大きく異なり、(111)面が非常に遅いため、斜面をもつV字形の溝などができる

KOHなどのアルカリ溶液は、シリコンの(111)面をほとんどエッチングしないため、(100)ウエハでは約54.7°の斜面をもつV字形の溝やピラミッド形の穴ができます。この異方性を利用して、MEMSの構造などをつくります。

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