プラズマエッチング中に、長い配線などのアンテナとなる導体が電荷を集め、つながっているゲート酸化膜を損傷させる現象を何と呼ぶか。

正解：C. アンテナ効果(プラズマチャージングダメージ)

プラズマにさらされた導体は電荷を集め、それがつながったゲートの酸化膜に電流として流れると、酸化膜が劣化したり破壊されたりします。導体の面積が大きいほど影響が大きいため、レイアウトでは配線の面積とゲート面積の比を制限するアンテナルールが設けられています。