エピタキシャル成長中に、基板などの不純物が気相を通じて成長層に取り込まれてしまう現象を何と呼ぶか。

正解：A. オートドーピング

オートドーピングは、高濃度に不純物を含む基板やその裏面などから不純物が蒸発し、ガスを通じて成長中の層に取り込まれる現象です。エピ層の不純物濃度が設計値からずれる原因になるため、基板の裏面を酸化膜で覆うなどの対策がとられます。