에피택셜 성장
기판과 성장막의 격자상수 차이(격자 부정합)가 클 때 일어나기 쉬운 문제는?
- A미스핏 전위 등의 결정 결함이 발생한다
- B막이 반드시 비정질이 된다
- C성장 속도가 0이 된다
정답과 해설 보기
정답: A. 미스핏 전위 등의 결정 결함이 발생한다
격자상수가 다른 재료를 성장시키면 막이 기판에 맞추어 줄어들거나 늘어나면서 변형이 쌓이고, 임계 막 두께를 넘으면 변형을 완화하기 위해 계면에 미스핏 전위가 발생합니다. 그 일부는 막을 관통하는 관통 전위가 되어 누설 전류 증가, 발광 효율 저하, 수명 단축을 초래합니다. 대책으로 조성을 서서히 바꾸는 버퍼층, 전위를 휘게 하는 초격자, 선택 성장 등이 사용됩니다.