スパッタ装置で、ターゲットとウエハの間に多数の穴をもつ板(コリメータ)を置く目的はどれか。

正解：A. 斜めに飛ぶ原子をさえぎって垂直に近い原子だけを通し、穴の底まで膜をつけやすくするため

コリメータは、蜂の巣のような穴の開いた板で、斜めに飛んでくるスパッタ原子をさえぎり、ウエハにほぼ垂直に向かう原子だけを通します。これにより、深い穴の底への膜のつき方(ボトムカバレッジ)が改善されます。ただし、コリメータにも膜がつくため成膜速度は下がります。

• A. 正しい。垂直に近い原子だけを通します。
• B. 原子の一部をさえぎるので、成膜速度はむしろ下がります。
• C. ウエハの冷却が目的ではありません。