박막 증착(CVD와 PVD)

ALD 1사이클에서 성막되는 막 두께의 기준으로 올바른 것은?

  1. A약 1 µm
  2. B약 0.1 nm(1원자층 정도 이하)
  3. C약 100 nm
정답과 해설 보기

정답: B. 약 0.1 nm(1원자층 정도 이하)

ALD에서 1사이클에 성막되는 것은 1원자층 정도 이하, 대략 0.1 nm 전후이며, 원료 분자가 크면 표면을 다 덮지 못해 1층에 못 미치기도 합니다. 1사이클에 수 초~수십 초가 걸리므로 수 nm의 막이라도 수십 사이클, 수 분~수십 분이 필요합니다. 속도를 보완하기 위해 여러 장의 웨이퍼를 동시에 처리하는 배치식이나, 웨이퍼를 회전시켜 가스 영역을 통과시키는 공간 분할형 ALD도 사용됩니다.

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