CMP・洗浄

CMPの研磨パッドの表面をダイヤモンドの工具で削って整え、研磨速度を安定させる作業を何と呼ぶか。

  1. Aアッシング
  2. Bパッドコンディショニング(ドレッシング)
  3. Cダイシング
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正解:B. パッドコンディショニング(ドレッシング)

研磨を続けると、パッドの表面がつぶれたり研磨くずが詰まったりして、研磨速度が下がります。ダイヤモンドの粒を付けたコンディショナでパッドの表面を削り、細かい凹凸を再生することで、研磨速度を安定させます。

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