CMP・洗浄
CMPの研磨パッドの表面をダイヤモンドの工具で削って整え、研磨速度を安定させる作業を何と呼ぶか。
- Aアッシング
- Bパッドコンディショニング(ドレッシング)
- Cダイシング
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正解:B. パッドコンディショニング(ドレッシング)
研磨を続けると、パッドの表面がつぶれたり研磨くずが詰まったりして、研磨速度が下がります。ダイヤモンドの粒を付けたコンディショナでパッドの表面を削り、細かい凹凸を再生することで、研磨速度を安定させます。
CMP・洗浄
正解:B. パッドコンディショニング(ドレッシング)
研磨を続けると、パッドの表面がつぶれたり研磨くずが詰まったりして、研磨速度が下がります。ダイヤモンドの粒を付けたコンディショナでパッドの表面を削り、細かい凹凸を再生することで、研磨速度を安定させます。