高アスペクト比のパターンを洗浄・乾燥するときに、パターンの倒れが起こる主な原因はどれか。

正解：B. パターンの間に残った液体が乾くときの表面張力

細く高いパターンの間に液体が残ったまま乾燥すると、液面の表面張力によってパターンどうしが引き寄せられ、倒れたり張り付いたりします。表面張力の小さい液体への置換、表面の撥水化処理、超臨界乾燥などの対策がとられています。