Oxidatie en diffusie

Wat is het belangrijkste doel van het toevoegen van een kleine hoeveelheid chloorhoudend gas zoals waterstofchloride (HCl) bij thermische oxidatie?

  1. ADe oxidefilm geleidend maken
  2. BDe oxidatiesnelheid op 0 brengen
  3. CDe invloed van mobiele ionen zoals natrium en metaalverontreiniging onderdrukken
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. De invloed van mobiele ionen zoals natrium en metaalverontreiniging onderdrukken

Bij oxidatie in een atmosfeer met enkele procenten waterstofchloride (HCl) worden metaalverontreinigingen zoals natrium en ijzer als vluchtige chloriden verwijderd, of door chloor in de oxidefilm gevangen en geïnactiveerd. Daardoor nemen schommelingen van de drempel door mobiele ionen af en verbeteren betrouwbaarheidskenmerken zoals de diëlektrische doorslagspanning van de oxidefilm. Het vermindert ook oxidatiegeïnduceerde stapelfouten. Omdat het corrosief is, worden tegenwoordig ook andere chloorbronnen gebruikt.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Oxidatie en diffusie

  1. Wat gebeurt er met de boorconcentratie aan de siliciumzijde nabij het grensvlak bij thermische oxidatie van boorhoudend silicium?
  2. Hoe heet de warmtebehandeling waarbij wafers één voor één met bijvoorbeeld lampen in enkele seconden kort op hoge temperatuur worden gebracht?
  3. Welke waarde ligt het dichtst bij de relatieve permittiviteit van met thermische oxidatie gevormde SiO2?
  4. Welke is een juiste belangrijke reden dat silicium veel als materiaal voor MOS-componenten is gebruikt?
  5. Welk probleem treedt op als de gate-oxidefilm mobiele ionen zoals natriumionen bevat?