Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)
Wat is de belangrijkste reden dat als ontwikkelaar voor halfgeleiders een organisch alkali zoals TMAH wordt gebruikt in plaats van natriumhydroxide e.d.?
- AOmdat TMAH een sterkere kleur heeft
- BOmdat TMAH zeker goedkoper is
- COm verontreiniging door metaalionen zoals natrium te vermijden
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Om verontreiniging door metaalionen zoals natrium te vermijden
Alkalimetaalionen zoals natrium en kalium worden in een oxidelaag onder invloed van een elektrisch veld mobiele ionen en laten de drempelspanning van transistors variëren. Deze natriumverontreiniging was de belangrijkste oorzaak van de instabiliteit van de eerste MOS-componenten. TMAH is een metaalvrij organisch alkali en geeft dus geen zorgen over zulke verontreiniging. Kleur of prijs zijn geen redenen om het te kiezen, en TMAH is ook niet zeker goedkoper.
Verder: nog 9 vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)