Nederlands
Menu

Wat is Feedforwardregeling?

Regeling die verstoringen of veranderingen van het setpoint meet en, voordat die de geregelde grootheid beïnvloeden, een stuurgrootheid toepast die uit een model van het proces is berekend. Ze wacht niet tot er een regelafwijking ontstaat en reageert dus snel, maar kan modelfouten en niet gemeten verstoringen niet corrigeren, dus ze wordt gewoonlijk gecombineerd met terugkoppelregeling. Haar pad ligt buiten de lus, dus ze verandert de stabiliteit van de terugkoppellus niet. In halfgeleiderfabrieken heet het bijstellen van de omstandigheden van een processtap op basis van metingen van een eerdere stap ook feedforwardregeling.

Japanse benaming: フィードフォワード制御

“Feedforwardregeling” komt voor in 2 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Basis van regeltechniek, CMP en reiniging.

Vakgebied: Basis van regeltechniek

Nu oefenen: vragen over Feedforwardregeling

Wat is de juiste reden om feedforwardregeling te combineren met terugkoppelregeling?

  1. AFeedforward kan op meetbare verstoringen en veranderingen van het setpoint reageren voordat er een regelafwijking ontstaat, maar kan niet gemeten verstoringen en modelfouten niet corrigeren, dus de terugkoppeling vangt de rest op
  2. BFeedforward verandert de versterking en de fase van de lusoverdrachtsfunctie en vergroot de fasemarge, zodat de lus ook met een grotere terugkoppelversterking stabiel blijft
  3. CMet alleen terugkoppeling blijft er altijd een blijvende regelafwijking, zelfs met integrerende actie, dus feedforward is onmisbaar om de blijvende regelafwijking bij een constant setpoint of een constante verstoring tot 0 terug te brengen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Feedforward kan op meetbare verstoringen en veranderingen van het setpoint reageren voordat er een regelafwijking ontstaat, maar kan niet gemeten verstoringen en modelfouten niet corrigeren, dus de terugkoppeling vangt de rest op

Feedforwardregeling meet verstoringen of veranderingen van het setpoint en voegt, voordat die de geregelde grootheid beïnvloeden, een stuurgrootheid toe die uit een model is berekend. Ze wacht niet tot er een regelafwijking ontstaat en reageert dus snel, maar veronderstelt een nauwkeurig model en meetbare verstoringen. Daarom is een gebruikelijke combinatie dat feedforward de belangrijkste verstoringen en het volgen van het setpoint voor zijn rekening neemt en dat terugkoppeling de resterende afwijking corrigeert. Het feedforwardpad ligt buiten de lus, dus de stabiliteit van de lus (de fasemarge en dergelijke) verandert niet.

“Feedforwardregeling” in de toelichting

Vragen met “Feedforwardregeling” (2)

  1. Wat is de juiste reden om feedforwardregeling te combineren met terugkoppelregeling?
  2. Wat is het belangrijkste doel om in de CMP-polijstkop de druk waarmee de wafer wordt aangedrukt per concentrische zone te kunnen variëren?

Vergelijkingen met deze term

Verwante termen

Terugkoppelregeling (feedback control) Fasemarge (phase margin) CMP Vergelijking van Preston Blijvende regelafwijking (steady-state error) Blokschema Bodediagram Doorschot (overshoot) Eerste-ordesysteem Integrator-windup (integral windup)

Naar de woordenlijst