Wat is Faradaycup?

Onderdeel dat de stroom meet die door een ionenbundel vloeit. Wordt in ionenimplanters gebruikt om de hoeveelheid geïmplanteerde ionen (de dosis) te bepalen.

Japanse benaming: ファラデーカップ

Vakgebied: Ionenimplantatie

Verwante termen

Channeling Dosis Gloeien (annealing) Halo-implantatie (pocket-implantatie) Ionenimplantatie Laseranneal Oplosbaarheid (solid solubility) Plasmadotering (plasma doping) Pre-amorfisatie-implantatie (PAI) Projected range (Rp)

Naar de woordenlijst