Wat is Faradaycup?
Onderdeel dat de stroom meet die door een ionenbundel vloeit. Wordt in ionenimplanters gebruikt om de hoeveelheid geïmplanteerde ionen (de dosis) te bepalen.
Japanse benaming: ファラデーカップ
Vakgebied: Ionenimplantatie
Onderdeel dat de stroom meet die door een ionenbundel vloeit. Wordt in ionenimplanters gebruikt om de hoeveelheid geïmplanteerde ionen (de dosis) te bepalen.
Japanse benaming: ファラデーカップ
Vakgebied: Ionenimplantatie
Channeling Dosis Gloeien (annealing) Halo-implantatie (pocket-implantatie) Ionenimplantatie Laseranneal Oplosbaarheid (solid solubility) Plasmadotering (plasma doping) Pre-amorfisatie-implantatie (PAI) Projected range (Rp)