Cleanroom en productieapparatuur
Welke term in een cleanroom verwijst niet naar deeltjes maar naar gasvormige verontreinigingen (zuren, basen, organische stoffen enz.)?
- ADeeltjesverontreiniging
- BMoleculaire verontreiniging (AMC)
- CElektrostatische ontlading (ESD)
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Moleculaire verontreiniging (AMC)
AMC (airborne molecular contamination) zijn moleculaire verontreinigingen in de lucht, zoals zure en basische gassen, organische stoffen en doteerstoffen. Moleculen zijn veel kleiner dan deeltjes en worden door gewone filters niet verwijderd, zodat chemische filters worden gebruikt. Ammoniak neutraliseert het zuur van chemisch versterkte resist en organische stoffen hechten aan het waferoppervlak en verslechteren de hechting en binding van lagen. ESD is elektrostatische ontlading.