Nederlands
Menu

Cleanroom en productieapparatuur

Welk filter wordt gebruikt om moleculaire verontreinigingen (AMC) zoals ammoniak en organische stoffen uit de lucht van een cleanroom te verwijderen?

  1. AULPA-filter
  2. BChemisch filter (filter met actieve kool of ionenwisselaar)
  3. CVoorfilter van metaalgaas
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Chemisch filter (filter met actieve kool of ionenwisselaar)

ULPA- en HEPA-filters vangen deeltjes op, maar gasvormige moleculen glippen erdoor. Chemische filters gebruiken actieve kool, filtermedium dat is geïmpregneerd met stoffen die met zuren of basen reageren, ionenwisselaarhars enz. en verwijderen moleculen door adsorptie of reactie. Het type wordt gekozen naar gelang de te verwijderen stof, en omdat de adsorptiecapaciteit beperkt is, worden ze periodiek vervangen. Ze worden gebruikt bij de buitenluchtinlaat en bij belangrijke apparatuur zoals belichtingsapparaten.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Cleanroom en productieapparatuur

  1. Welk apparaat in de luchtbehandeling van een cleanroom verwijdert stof uit de aangevoerde buitenlucht, regelt temperatuur en vochtigheid en voert die vervolgens toe aan de circulatielucht in de ruimte?
  2. Welk geautomatiseerd magazijn in het geautomatiseerde transportsysteem van een halfgeleiderfabriek slaat FOUP's tijdelijk op totdat ze naar de volgende processtap gaan?
  3. Welke combinatie van benamingen voor het transport tussen bays en het transport tussen apparatuur binnen een bay in het geautomatiseerde transport van een fabriek met bays is juist?
  4. Welke cleanroommethode plaatst productieapparatuur in een grote ruimte met weinig scheidingswanden en waarborgt de reinheid van wafers met afgesloten containers zoals FOUP's en minienvironments?
  5. Welke waarde benadert het aantal malen per uur dat de lucht in een cleanroom met downflow en hoge reinheid wordt ververst (luchtverversingsvoud) het best?