공정 재료(가스와 케미칼)

반도체 현상액에 수산화나트륨 등이 아니라 TMAH 같은 유기 알칼리가 쓰이는 주된 이유는 무엇입니까?

  1. ATMAH 쪽이 색이 진하기 때문
  2. BTMAH 쪽이 반드시 저렴하기 때문
  3. C나트륨 등 금속 이온에 의한 오염을 피하기 위해
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정답: C. 나트륨 등 금속 이온에 의한 오염을 피하기 위해

나트륨, 칼륨 등의 알칼리 금속 이온은 산화막 속에서 전계에 의해 움직이는 가동 이온이 되어 트랜지스터의 문턱 전압을 변동시킵니다. 초기 MOS 소자가 불안정했던 주된 원인이 이 나트륨 오염이었습니다. TMAH는 금속을 포함하지 않는 유기 알칼리이므로 이런 오염 우려가 없습니다. 색이나 가격이 선택 이유가 아니며, TMAH가 반드시 저렴한 것도 아닙니다.

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