Welke combinatie van materialen is juist voor de reflecterende meerlagen van EUV-maskers?

Antwoord: C. Molybdeen en silicium

Voor EUV-maskers en spiegels van belichtingsapparatuur wordt een meerlaagse structuur gebruikt waarin dunne lagen molybdeen en silicium met een periode van ca. 7 nm ongeveer 40 paren afwisselend op elkaar liggen. De dikte is zo ontworpen dat het licht dat aan elk grensvlak een beetje wordt gereflecteerd in fase is, zodat licht van 13,5 nm voor ca. 70 % wordt gereflecteerd. Omdat EUV door elke stof sterk wordt geabsorbeerd, is een reflecterend optisch systeem in plaats van lenzen nodig. Het oppervlak wordt bedekt met een beschermlaag zoals ruthenium.