Welke uitspraak over de kenmerken van chloortrifluoride (ClF3), dat onder meer voor het reinigen van kamers van apparatuur wordt gebruikt, is juist?

Antwoord: B. Het is extreem reactief en reageert hevig met veel stoffen, dus streng beheer is nodig

ClF3 is extreem reactief en kan veel stoffen etsen zonder plasma, dus het wordt gebruikt voor het ter plaatse reinigen van afzettingen in kamers van bijvoorbeeld epitaxieapparatuur. Daar staat tegenover dat het hevig reageert met organische stoffen en veel metalen en kan ontbranden, en ook zeer giftig is, dus materiaalkeuze en lekmaatregelen worden streng uitgevoerd. Het is niet inert en niet onschadelijk; de hoge reactiviteit is zowel de reden voor het gebruik als voor het gevaar.