Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Wat is het juiste hoofdbestanddeel van het platingbad voor galvanisch koperplateren van Cu-bedrading?

  1. AEen oplossing met koper(II)sulfaat als hoofdbestanddeel, met additieven die het opvullen regelen
  2. BEen waterige oplossing van natriumchloride
  3. CAlleen ultrazuiver water
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Een oplossing met koper(II)sulfaat als hoofdbestanddeel, met additieven die het opvullen regelen

Een Cu-platingbad bevat koper(II)sulfaat en zwavelzuur met chloride-ionen, en kleine hoeveelheden van drie soorten organische additieven: versneller, onderdrukker en egalisator. De onderdrukker remt de afzetting boven in de sleuf en aan het oppervlak, terwijl de versneller zich onderin de sleuf verzamelt en de afzetting daar versnelt, zodat bottom-up-groei (superfilling) optreedt en zonder holtes wordt opgevuld. Met zout water of zuiver water kan geen Cu worden afgezet.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welke uitspraak over risico’s in de toelevering van halfgeleidermaterialen is juist?
  2. Welk materiaal wordt gebruikt voor het substraat van fotomaskers voor ArF-belichting?
  3. Welke combinatie van materialen is juist voor de reflecterende meerlagen van EUV-maskers?
  4. Wat is de juiste reden dat bij het etsen van oxide een fluorkoolstofgas met een groot aandeel koolstof zoals C4F8 wordt gebruikt?
  5. Welke zuiverheid is de juiste richtwaarde voor een sputtertarget voor de Cu-zaadlaag?