Nederlands
Menu

Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Welk bronmateriaal is juist voor het inbrengen van p-type onzuiverheden (boor)?

  1. ADiboraan (B2H6) en booortrifluoride (BF3)
  2. BFosfine (PH3)
  3. CArsine (AsH3)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Diboraan (B2H6) en booortrifluoride (BF3)

Voor het inbrengen van boor worden diboraan (B2H6) en booortrifluoride (BF3) gebruikt. BF3 wordt als ionenbrongas voor ionenimplantatie gebruikt, en naast B⁺ kan ook het zware BF2⁺ worden onttrokken waarmee ondiep kan worden geïmplanteerd. Diboraan wordt vaak gebruikt om bij CVD of epitaxiale groei tegelijk boor in de laag op te nemen. Fosfine en arsine zijn de grondstoffen voor de n-type onzuiverheden fosfor en arseen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welk apparaat wordt in leidingen geplaatst om sporen onzuiverheden en deeltjes te verwijderen uit gas vlak voordat het aan de apparatuur wordt geleverd?
  2. Welke combinatie van gassen is geschikt voor het opwekken van laserlicht in een ArF-excimeerlaser?
  3. Welk gas wordt bij epitaxiale groei en warmtebehandeling gebruikt als draaggas of reducerende atmosfeer?
  4. Welke uitspraak over de omgang met organometaalverbindingen zoals trimethylgallium (TMGa), de grondstoffen van MOCVD, is juist?
  5. Wat is de juiste zuiverheid wanneer de zuiverheid van een gas wordt uitgedrukt als “6N”?