Welke combinatie van gassen is geschikt voor het opwekken van laserlicht in een ArF-excimeerlaser?

Antwoord: C. Argon en fluor (met een buffergas zoals neon)

Een ArF-excimeerlaser exciteert met een ontlading een gasmengsel van weinig argon en fluor, verdund met neon als buffergas, en zendt licht met een golflengte van 193 nm uit. Een excimeer is een molecuul dat alleen in aangeslagen toestand bindt (excited dimer) en uiteenvalt bij terugkeer naar de grondtoestand, waardoor efficiënt ultraviolet licht wordt verkregen. De KrF-excimeerlaser (248 nm) gebruikt krypton en fluor. Met zuurstof en stikstof of waterstof en helium wordt geen licht van 193 nm uitgezonden.