Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Welk apparaat wordt in leidingen geplaatst om sporen onzuiverheden en deeltjes te verwijderen uit gas vlak voordat het aan de apparatuur wordt geleverd?

  1. AVacuümpomp
  2. BGaszuiveraar (purifier) en gasfilter
  3. CVerwarming
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Gaszuiveraar (purifier) en gasfilter

Gas kan ook in cilinders en leidingen sporen onzuiverheden zoals water en zuurstof en deeltjes oppikken. Daarom worden vlak voor de apparatuur een gaszuiveraar, die onzuiverheden adsorbeert met bijvoorbeeld metalen getter, en een filter dat fijne deeltjes vangt, geplaatst om zuiverheid op ppt-niveau te behouden. Een vacuümpomp is een apparaat om gas af te voeren en een verwarming een apparaat om de temperatuur te verhogen, dus beide kunnen geen onzuiverheden verwijderen.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welke combinatie van gassen is geschikt voor het opwekken van laserlicht in een ArF-excimeerlaser?
  2. Welk gas wordt bij epitaxiale groei en warmtebehandeling gebruikt als draaggas of reducerende atmosfeer?
  3. Welke uitspraak over de omgang met organometaalverbindingen zoals trimethylgallium (TMGa), de grondstoffen van MOCVD, is juist?
  4. Wat is de juiste zuiverheid wanneer de zuiverheid van een gas wordt uitgedrukt als “6N”?
  5. Welk gas, dat in een halfgeleiderfabriek in een van de grootste hoeveelheden wordt gebruikt, wordt via leidingen geleverd als spoel- en atmosfeergas?