Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

Wat is de juiste zuiverheid wanneer de zuiverheid van een gas wordt uitgedrukt als “6N”?

  1. A99,9999 %
  2. B96 %
  3. C99,6 %
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. 99,9999 %

Bij zuiverheidsaanduidingen geeft “N” het aantal negens (nine) aan, dus 6N is 99,9999 % met zes negens. Onzuiverheden bedragen in totaal 0,0001 %, dus 1 ppm of minder. 96 % en 99,6 % zijn onjuiste interpretaties waarbij het cijfer 6 aan het einde of in het midden wordt gezet. Als het laatste cijfer een 5 is, zoals 99,9995 %, wordt 5N5 geschreven. Voor speciale gassen voor halfgeleiders wordt vaak een zuiverheid van 6N of hoger vereist.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Procesmaterialen (gassen, chemicaliën)

  1. Welk gas, dat in een halfgeleiderfabriek in een van de grootste hoeveelheden wordt gebruikt, wordt via leidingen geleverd als spoel- en atmosfeergas?
  2. Welke laag wordt bij ArF-immersiebelichting boven op de fotoresist aangebracht om te voorkomen dat het immersiewater en de resist rechtstreeks in contact komen?
  3. Welk materiaal is een typisch voorbeeld van een low-k-tussenlaagdiëlektricum?
  4. Welk materiaal met hoge zuiverheid en uitstekende hittebestendigheid wordt veel gebruikt voor reactiebuizen van ovens en voor hulpmiddelen waarop wafers worden geplaatst?
  5. Welke waterige oplossing wordt gewoonlijk gebruikt voor het ontwikkelen van fotoresist?